Open time: 8 : 00 AM - 5 : 30 PM (Monday - Saturday)
15nm의 분해능과 6만배까지 배율 확대 가능한 보급형 Tabletop SEM 입니다. 또한, 다양한 Detector를 통해서 사용자가 보고자하는
Sample의 표면 형태(SE) 및 성분에 따라 명암으로 표현되는 Image(BSE) 결과로 연구개발 및 품질관리, 교육실습 등의 목적으로 사용가능합니다.
SE (Secondary Electron)-2차전자
▷ 요철에 의한 정보로 이미지 형성. 주로 표면현상 관찰로 가장 널리 사용
BSE(BackScattered Electron)-후방산란(반사) 전자
▷ 시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성
총 3축 구성으로 간편한 Sample 위치 이동과
Program 내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 Operation 가능합니다.
또한, SE/BSE Image를 동시에 Display 할 수 있는
Dual View Mode로 Sample Image 확인 및 동시 저장이 가능합니다.
Resolution | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
Magnification | 20x~60,000x |
Accelerating Voltage | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
Detector | Secondary Electron Image(SE) |
Backscattered Electron Image(BSE) | |
Electron Gun | Pre-centered Tungsten Filament Cartridge |
Stage Traverse | 3-axis System (X, Y, R, Z, T – Manual) |
X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° | |
* Image Shift : ±150μm | |
* CCD Camera installed in the Chamber | |
* T-axis : 0 to 45˚ (Option) | |
Max. Sample Size | 70mm in Diameter x 30mm in Height |
Automation Function | Auto Start, Auto Focus, |
Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness | |
Image Format | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
Vacuum Mode | High & Low Vacuum |
Vacuum Pump | Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation) |
Main Unit | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
Controller Unit | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |