진화하는 기술

철저한 오차 요인 분석과 배제

본체 베이스 설계

고강성, 고감쇠성

LEGEX의 본체 베이스는 구상흑연주철(다크 타일 주철)을 사용한 밀폐화 구조를 채택하였으며(특허 출원 중) 이 구조를 통해 고강성, 고감쇠성을 실현합니다. 더 나아가 FEM 구조 해석 시뮬레이션을 구사한 철저한 응력 분석으로 하중 변동 등으로 인한 변형을 최소한으로 하고 매우 우수한 기하학 운동 정도를 보장합니다.

Y축 가이드레일과 베이스의 일체화 구조

강성 및 열적 안정성을 더욱 향상시키기 위해 Y축 가이드레일과 본체 베이스를 일체화된 구조로 제작했습니다.

각 축 슬라이드 부분에 세라믹 플라즈마 용사

Y축 가이드레일, X축 빔, Z축 스핀들의 슬라이드 부분은 세라믹 플라즈마 용사(溶射) 처리되어 에어 베어링 접동을 위한 최적의 표면이 형성됩니다.

또한 녹이나 부식에도 강합니다.

고감쇠성 초고정도 스캐닝 측정을 실현

LEGEX의 본체 구조는 이동 시의 잔류 진동을 재빨리 감퇴시키고 진동에 의한 편차 폭을 크게 줄여줍니다. 또한 외부 진동에 대한 제진장치 효율성이 높아져 제진 성능이 향상되었습니다.

이로써 모델링 측정 시 진동이 줄어들고, 초고정도 모델링 측정 실현이 가능합니다.

문 고정 • 테이블 이동 구조

피칭 • 요잉 오차의 배제

문 이동 구조의 CNC 3차원 측정기 대부분은 한쪽 하부에 배치된 구동계를 통해서만 문 이동(Y축 이동)을 수행하므로 이동 시에 피칭 오차•요잉 오차가 발생합니다. 구동계를 문 중앙 중심

부근에 배치하는 방식도 있지만, X축이 좌우로 움직일 때에 중심도 당연히 이동하므로 그 오차를 배제할 수 없습니다.

LEGEX는 ‘문 이동으로 인해 오차가 발생한다면 문을 움직이지 않으면 된다’는, 발상의 전환을 일으켜 아베 오차를 최소한으로 줄이기 위해 문 고정•테이블 이동 구조를 채용했습니다.

높은 운동 정도

독립적인 X축 운동과 Y축 운동

문 이동 구조의 경우, 예를 들어 X축이 이동하면 Y축 가이드(에어 베어링)에 하중 변동이 일어나 측정 공간에 기하학적 변형이 발생합니다.

LEGEX는 특히 X축과 Y축이 완전히 독립된 구조이며, X축 이동이 Y축 가이드에 영향을 전혀 끼치지 않습니다. 따라서 각 축의 정도를 확립하기 쉽고, 고정도를 장기간에 걸쳐 유지할 수 있습니다.

진동 대책

외부 진동 대책

설치장소의 바닥에 진동이 발생하면 측정값의 오차가 발생합니다. LEGEX는 전용 고기능 오토 레벨링 공기압식 제진장치를 표준으로 장착했습니다. 측정 테이블의 이동이나 측정물에 의한 하중 변동을 센서로 파악하고 재빨리 본체를 수평 복귀시킬 수 있습니다.

내부 진동 대책 구동은 볼 스크류와 DC 서보 모터를 통해 수행합니다. 볼 스크류 축 주변의 원추형 운동이나 축에 수직 면의 흔들림을 흡수하기 위해 너트부에 플로팅 기구를 가진 특수 볼 스크류를 채용하고 있습니다. 때문에 볼 스크류의 흐름이 운동 정도에 영향을 미치지 않고 고속 구동이 가능합니다. 또한, 이전에 비해 5분의 1로 진동을 억제한 미쓰도요 독자의 고강성 저진동 에어 베어링과 각 축 가이드 레일에 특수한 진동 감쇄기구를 장착하는 등 다양한 내부 진동 대책을 세웠습니다.

초고정도 측장 유닛

선팽창계수 “≒제로”의 고정도 글라스 스케일

LEGEX에는 새로 개발되었으며 열팽창이 거의 없는 (선팽창계수 0.01×10－6/°C) 초고정도 결정화 글라스 스케일, 그리고 마찬가지로 새로 개발된 최소분해능 1/100m의 고성능 반사형 리니어 엔코더가 결합된 초고정도 측장 유닛이 탑재되어 있습니다.

또한 이 스케일은 미쓰도요만의 고정방식으로, 부착면과의 열팽창률 차이로 인해 발생하는 히스테리시스 오차를 최소한으로 줄입니다.

온도보정 기능

18 ~ 22°C의 온도범위에서 정도를 보증

기존 초고정도 삼차원 측정기의 경우, 수준 높은 항온실과 같은 설치환경이 필요했습니다. 그러나 LEGEX는 FEM 구조해석을 통해 열적 대칭 구조를 실현하여 온도 변화로 인한 측정 공간의 변형을 줄이며, 서브미크론의 측정 정도를 유지하면서 20±2°C라는 폭 넓은 온도 환경 하에서의 측정을 가능하게 합니다. 또한 측정물의 온도를 실시간으로 측정하고, 20°C인 경우의 치수로 환산한 결과를 출력할 수 있습니다.

최신 제어기술 적용

독자적으로 개발한 제어장치를 완전히 바꾸고 새로운 알고리즘을 적용한 고도의 제어기술이 적용되어 있습니다. 또한 새로 개발한 고분해능 리니어 엔코더를 탑재해 정도를 더욱 높였습니다.

사양:

^※세라믹 코팅 사양도 준비되어 있습니다.

차원: