고정밀 스퀘어 마스터

311 시리즈

• 고정밀 스퀘어 마스터는 반도체 관련 장비, 형상 측정기, 3차원 측정기. 공장기계와 같은 장비의 이동 요소의 이송 직진도 검사에 사용되는 게이지입니다.
• 4개의 정밀 래핑 기준면을 사용할 수 있습니다.
• 300mm에서 1µm이하의 각 기준면(4개)의 진직도 및 직각도. 전면 및 후면의 정도 또한 5µm이하입니다.

사양