Open time: 8 : 00 AM - 5 : 30 PM (Monday - Saturday)
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측정기로서 고정도화를 실현하려면 기초인 본체 베이스의 고강성화가 필수 조건입니다. FEM 구조 해석 시뮬레이션을 구사하여 본체 베이스의 응용 해석을 철저히 실현한 결과 태어난 것이 고강성 본체 베이스입니다.
진직도 정도의 생명인 컬럼 가이드면의 가공 정도를 극한까지 향상시킨데다가 독자 시스템과 기구를 사용하여 컬럼 진직도「0.05μm/100mm」의 초고정도를 실현하였습니다.
자동 센터링 레벨링 기구 부분에는 회전 테이블 각 축에 고정도 글래스 스케일을 탑재하여 위치 결정 오차를 억눌러 고속 자동 센터링/레벨링을 실현, 측정물의 셋팅부터 측정까지 토탈 스루 풋(Total Throughput)을 크게 단축 할 수 있습니다. 자동 센터링/레벨링 조정 타입의 A.A.T(Automatic Adjustment Table)를 표준 탑재하고 있어 측정물의 센터링/레벨링 작업으로부터 자유롭습니다.
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모델 |
RA-H5200AS |
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회전 테이블 |
회전 정도 (JIB 7451-199 7) |
반경 방향 |
(0.02+3.5H/10000)μm H = 측정 높이 (mm) |
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축 방향 |
(0.02+3.5X/10000)μm X = 회전 중심부터의 거리 (mm) |
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회전 속도 |
2, 4, 6, 10rpm (자동 센터링 시: 20rpm) |
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유효 테이블 직경 |
Ø 300mm |
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센터링 조정 범위 |
±5mm |
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레벨링 조정 범위 |
±1° |
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최대 하중 무게 |
80kg (자동 센터링 시: 65kg) |
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최대 측정 직경 |
Ø 400mm |
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최대 하중 직경 |
Ø 600mm |
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수직 방향 이동 |
진직도/이동 거리（λc2.5） |
좁은 범위 |
0.05μm / 100mm |
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넓은 범위 |
0.14μm / 350mm |
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회전축과의 평행도(모선기준） |
0.2μm / 350mm |
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이동량 (테이블 상면에서) |
350mm |
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이동 속도 |
최대: 60mm/s (측정 시: 0.5, 1, 2, 5mm/s) |
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최대 측정 높이 |
350mm |
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최대 측정 깊이 (표준 스타일러스를 사용할 경우) |
Ø 32x85mm (깊이) ; Ø 7x50mm (깊이) |
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X측 |
진직도（λc2.5） |
0.4μm / 200mm |
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회전축과의 직각도 모선기준） |
0.5μm / 200mm |
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이동량 |
225mm (회전 중심에서 -25mm ~ +200mm) |
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이동 속도 |
최대: 50mm/s 측정 시: 0.5, 1, 2, 5mm/s) |
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검출기 |
측정압 |
약 10 ~ 50mN, 1 ~ 5 단계 |
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스타일러스 팁 형태, 소재 |
Ø 1.6mm 카바이드 |
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검출 범위 |
표준 |
±400μm / ±40μm / ±4μm |
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추종 |
±5mm |
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기타 |
인/아웃 전환 기능, 측정압 전환 기능 (5단). 스타일러스 각도 눈금（±45°）, Z방향 충돌 검출 기능, 슬라이딩 검출기 홀더 (3개 위치 결정) |
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기타 |
필요 공기압 |
0.39MPa |
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공기 소모량 |
정상 상태에서는 45L/min (공기 공급원으로서는 120L/min) |
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무게 |
측정 본체 |
650kg |
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방진대 |
170kg |
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