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SE (Secondary Electron)-2차전자
▷ 요철에 의한 정보로 이미지 형성. 주로 표면현상 관찰로 가장 널리 사용
Tabletop SEM 유일 5축 구성으로 다양한 Sample 위치 이동과 Program 내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 Operation 가능합니다. 단계적인 Scan Mode와 Measurement Tool로 다양한 분석결과 획득이 가능합니다.
| Resolution | 5nm (30kV, SE Image) |
| Magnification | 20x~100,000x |
| Accelerating Voltage | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
| Detector | Secondary Electron Image(SE) |
| Electron Gun | Pre-centered Tungsten Filament Cartridge |
| Stage Traverse | 5-axis System (X, Y, R, Z, T – Manual) |
| X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360° | |
| Z-axis : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45° | |
| * Image Shift : ±150μm | |
| Max. Sample Size | 80mm in Diameter x 35mm in Height |
| Automation Function | Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness |
| Image Format | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Vacuum Mode | High Vacuum (Low Vacuum Option) |
| Vacuum Pump | Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation) |
| Main Unit | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
| Controller Unit | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
| Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
