Open time: 8 : 00 AM - 5 : 30 PM (Monday - Saturday)
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Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써, 최대 15만배까지 영상을 관찰할 수 있는 경제적인 Tabletop-SEM입니다
조건에 따라 쉽게 조작이 가능한 Variable Aperture 장착으로.
다양한 Detector를 통해서 사용자가 보고자하는
Sample의 표면 형태(SE) 및 성분에 따라 명암으로 표현되는 Image(BSE) 결과로
연구개발 및 품질관리, 교육실습 등의 목적으로 사용가능합니다
SE (Secondary Electron)-2차전자
▷ 요철에 의한 정보로 이미지 형성. 주로 표면현상 관찰로 가장 널리 사용
BSE(BackScattered Electron)-후방산란(반사) 전자
▷ 시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성
Tabletop SEM 유일 5축 구성으로 다양한 관찰이 가능합니다.
Motorized적용으로 화면에서 Double Click 이동이 가능하며,
Navigation Mode 위치이동이 가능하여 측정 위치 찾기가 매우 편리합니다.
Tilting -45°~90° 사용으로 다양한 각도의 촬영 및 EDS 분석에 용이 합니다.
“Tilting -45˚ to 90˚ degree”
| Electron System | Resolution | Plus A : 5nm (30kV, SE Image) |
| Plus B 5nm(SE), 8nm(BSE) | ||
| Magnification | 20x~150,000x | |
| Accelerating Voltage | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
| Detector | Plus A : SE(Secondary Electron) | |
| Plus B : SE/BSE(back Scattered Electron) *Dual Detector | ||
| Electron Gun | Pre-centered Tungsten Filament Cartridge | |
| Stage System | Stage Traverse | X : 40mm, Y : 40mm, R : 360˚, Z : 0 to 40mm, T : -45 to 90˚ |
| 5-axis Moterized | ||
| Max. Sample Size | 80mm in Diameter x 35mm in Height | |
| Image System | Automation Function | Auto Start, Auto Focus |
| Image Format | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
| Vacuum System | Vacuum Mode | Plus A : High Vacuum |
| Plus B : High & Low Vacuum(Multi) | ||
| Vacuum Pump | Rotary Pump / Turbo Molecular Pump (Full Automation) | |
| Dimensions | Main Unit | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
| Controller Unit | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
| Rotary Pump | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
