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● Hyper QV WLI는 QV에 백색광 간섭계를 탑재한 복합형 고정도 3D 계측 시스템입니다
● WLI 광학계로 수집한 3D 데이터로부터 3차원 표면 성상 해석/3차원 조도 해석이 가능합니다.
또한 3D 데이터로부터 지정 높이의 치수 측정 및 단면 형상 측정이 가능합니다.
QV 시리즈는 고성능 화상 오토 포커스가 표준으로 장비되어 있어, 화상 오토 포커스로 정도를 보증합니다.
다채로운 오토 포커스 툴로 표면 성상이나 측정 부위마다 최적의 포커스를 선택할 수 있어서 높은 신뢰도로 높이 측정이 가능합니다.
또한 오토 포커스 스피드도 매우 빨라 전체 측정 처리량이 향상되었습니다.
2개의 곡면 미러의 위치를 변경하여 링 조명의 조사 각도를 30°~80°의 범위에서 임의 설정할 수 있으며 경사면이나 미세 단차의 엣지 강조에 효과적입니다.
또한, PRL 조명은 전후좌우로 각각 독립적으로 광량을 설정할 수 있어, 측정 위치에 맞는 다양한 종류의 조명 설정이 가능합니다.
QV 시리즈는 고성능 화상 오토 포커스가 표준으로 장비되어 있어, 화상 오토 포커스로 정도를 보증합니다.
다채로운 오토 포커스 툴로 표면 성상이나 측정 부위마다 최적의 포커스를 선택할 수 있어서 높은 신뢰도로 높이 측정이 가능합니다.
또한 오토 포커스 스피드도 매우 빨라 전체 측정 처리량이 향상되었습니다.
퀵 비전은 일부 모델에서 ISO10360-7:2011의 정도의 보증에 대응합니다.
모델 |
Hyper QV WLI404 |
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모델번호 |
QVW-H404P1L-D |
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측정 범위 |
화상 측정 |
400×400×240mm |
WLI 측정 |
315×400×240mm |
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관찰 장치※1 |
프로그램 제어 파워 터릿 1×-2×-6× |
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조명 장치 |
투과 조명 |
백색 LED |
수직 낙사 조명 |
백색 LED |
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프로그램 제어 링 조명 |
백색 LED |
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WLI 광학 헤드 |
할로겐 |
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스케일 분해능 |
0.01µm |
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화상 측정 정도※2 |
E1X, E1Y |
(0.8+2L/1000)µm |
E1Z |
(1.5+2L/1000)µm |
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E2XY |
(1.4+3L/1000)µm |
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WLI 최대 Z 측정 범위 |
QVWLI A-5X, QVWLI A-10X: 6.3mm, QVWLI A-25X: 3.2mm, QVWLI A-50X: 1.0mm |
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WLI Z축 반복 정도※2 |
2σ ≦ 0.08µm |
※1 프로그램 제어 파워 터릿 1×-2×-4× 모델 및 1×-2×-4×-6× 모델은 특주 대응 가능
※2 당사 검사 방법에 의함.