Open time: 8 : 00 AM - 5 : 30 PM (Monday - Saturday)
Open time: 8 : 00 AM - 5 : 30 PM (Monday - Saturday)
Cho phép đặt hàng trước
Kính hiển vi điện tử quét SNE-3200M có độ phân giải lên tới 15nm và 60.000 lần độ phóng đại
SE (Secondary Electron)
▷ Tạo hình ảnh với thông tin mức độ cao. Chủ yếu được sử dụng để kiểm tra bề mặt
BSE(BackScattered Electron)
▷ Tạo hình ảnh với thông tin vật liệu (Phần tử)
| Độ phân giải | 15nm (30kV, SE Image) |
| 20nm (30kV, BSE Image) | |
| Độ phóng đại | 20x~60,000x |
| Mức điện áp | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
| Camera | Hình ảnh điện tử thứ cấp(SE) |
| Hình ảnh điện tử tán xạ ngược(BSE) | |
| Súng Electron | Hộp mực dây tóc vonfram định tâm trước |
| Hệ thống bàn di chuyển | 3 Trục (X, Y, R, Z, T – Thủ công) |
| Trục X, Y: 35mm / Trục R: 360° | |
| * Dịch chuyển hình ảnh : ±150μm | |
| * CCD Camera được lắp đặt ở trong buồng kiểm tra | |
| * Trục T: 0 to 45˚ (Option) | |
| Kích thước vật phẩm tối đa | 70mm(Đường kính) x 30mm(Chiều cao) |
| Chức năng tự động | Tự khởi động, tự động lấy nét |
| Tự cân bằng | |
| Định dạng hình ảnh | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Chế độ chân không | Chân không cao và thấp |
| Bơm chân không | Bơm quay / Bơm phân tử tăng áp (Tự động hoàn toàn) |
| Bộ phận chính | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
| Bộ phận điều khiển | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
| Máy bơm | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
