Open time: 8 : 00 AM - 5 : 30 PM (Monday - Saturday)
Cho phép đặt hàng trước
Mitutoyo sử dụng một loại đường dẫn tuyến tính trên trục XY lớn được đánh giá cao về độ thẳng và độ ổn định. Đây là một yếu tố quan trọng trong chiến lược tối đa hóa độ chính xác hình học – một yếu tố khác là phân tích FEM. Các nhà thiết kế của chúng tôi đã sử dụng kỹ thuật FEM một cách rộng rãi trong giai đoạn thiết kế để đảm bảo độ ổn định của giai đoạn là tối ưu trong mọi tình huống đo lường. Do đó, nền tảng để đạt được độ chính xác đo cao nhất đã được đặt ra.
Trục XY có một thiết kế lớn, độ ổn định cao được tạo ra bằng các kỹ thuật cơ học được phát triển qua nhiều năm kinh nghiệm của Mitutoyo trong việc sản xuất kính hiển vi đo lường chính xác. Tải trọng bàn đặt mẫu tối đa là 30kgf (66lbf) và một loạt các phụ kiện hữu ích có sẵn bao gồm giá đỡ wafer và giá đỡ trung tâm xoay.
Kính hiển vi MF-UD2515B được trang bị các thước kính kỹ thuật số có độ chính xác cao trên cả ba trục. Mitutoyo sản xuất thước cho kính hiển vi MF-UD2515B trong một phòng thí nghiệm dưới lòng đất, nơi nhiệt độ và độ ẩm không đổi quanh năm. Sự dịch chuyển của trục XY và Z (ống quang) được hiển thị bằng kỹ thuật số.
bánh răng cỡ nhỏ siêu chính xác 10X
Wafer 20X
Độ dốc kim loại 20X
Dấu kim loại 20X
Mẫu số | Hyper MF-UD2515B | |
ống quang học | Hệ thống quang học hiệu chỉnh vô cực BD (Trường sáng / Trường tối) | |
Kẻ ô tiêu chuẩn (Tích hợp sẵn) | Đường gạch chéo 90 ° (độ rộng đường 5μm) | |
Điều chỉnh khoảng cách học sinh | Loại Siedentoph Phạm vi điều chỉnh: 51 đến 76mm / 2,01 ”đến 2,99” | |
Tỷ lệ chuyển đổi đường dẫn quang | Quan sát / TVphotomicrography = 50/50 | |
góc nghiêng dọc | Nghiêng | |
Cổng TV | Được cung cấp theo tiêu chuẩn | |
Hình ảnh quan sát | hình ảnh thẳng | |
Thị kính | Phóng đại | 10X, 15X, 20X |
Vật kính (tùy chọn) | Được trang bị hai thị kính 10X | |
Vật kính dòng ML | – | |
BF (Trường sáng) | Kế hoạch M Apo, M kế hoạch Apo SL, G kế hoạch Apo | |
BD (Trường sáng / tối) | Kế hoạch BD Apo, Kế hoạch BD Apo SL | |
Turret (tùy chọn) | BF (Trường sáng) | (Được trang bị cảm biến thủ công bốn lỗ / cảm biến năm lỗ có động cơ * 2 |
BD (Trường sáng / tối) | (Được trang bị cảm biến thủ công bốn lỗ / cảm biến bốn lỗ có động cơ * 3 | |
Phần lấy nét | Chiều cao tối đa của phôi | 150mm / 5,91 ” |
Đo độ chính xác | (1,5 + 0,01L) μm L: Chiều dài đo (mm) | |
phương pháp điều khiển | Điều khiển cơ giới với việc sử dụng cần điều khiển | |
Bộ phận chiếu sáng | Chiếu sáng truyền qua | Hệ thống viễn tâm, màng chắn khẩu độ tích hợp, bóng đèn Halogen (12V, 50W), điều khiển cường độ ánh sáng 100 bước, Chiếu sáng ánh sáng lạnh bằng cáp quang |
Bộ chiếu sáng phản xạ | Chiếu sáng Koehler, Cơ chế màng chắn khẩu độ thay đổi, Bóng đèn Halogen (12V, 100W), Điều khiển cường độ ánh sáng 100 bước, Chiếu sáng lạnh bằng cáp quang | |
Khoảng làm việc | Dải đo (X × Y) | 250mmx150mm / 9,84 ”x5,91” |
Độ chính xác đo * 4 (Khi không tải trên trục X hoặc Y) | (0,9 + 0,003L) μm L: Chiều dài đo (mm) | |
Kích thước của mặt phẳng trên cùng | 460mmx350mm / 18,11 ”x13,78” | |
Kích thước có thể sử dụng của kính sân khấu | 300mmx200mm / 11,81 ”x7,87” | |
Góc xoay | ± 3 ° | |
Khối lượng tải tối đa | 30kgf / 66lbf | |
phương pháp lái xe | Điều khiển cơ giới với việc sử dụng cần điều khiển | |
Máy dò |
Cân kỹ thuật số có độ chính xác cao (Đã được cấp bằng sáng chế) | |
Màn hình kỹ thuật số |
Độ phân giải |
0,01μm / .0004μinch |
Các trục được hiển thị | XYZ | |
đơn vị xử lý dữ liệu | QM-Data200 hoặc Đơn vị Tầm nhìn | |
Khóa phím điều khiển | Có sẵn | |
Đường Pitch | Có sẵn | |
Đầu ra dữ liệu | Có sẵn | |
Reset màn hình kỹ thuật số | Có sẵn | |
Kiểm soát cường độ ánh sáng chiếu sáng | Có sẵn | |
LAF (chỉ tập trung) | – | |
LAF (tiêu điểm theo dõi) | – | |
Điều khiển từ xa Turret | Có sẵn (khi lắp đặt Turret có động cơ) | |
Kích thước bên ngoài | Bộ phận chính của kính hiển vi | 880mmx913mmx770mm / 34,65 ”x35,94” x30,31 ” |
đơn vị năng lượng | 160mmx476mmx381mm / 6,30 ”x18,74” x15 ” | |
Khối lượng | Bộ phận chính của kính hiển vi | Khoảng 255kg / 562,2lb |
đơn vị năng lượng | 14kg / 30,86lb | |
Nguồn cấp | 100 – 240V AC, 50/60 Hz Công suất tiêu thụ tối đa: 700W |