Kính hiển vi
đo lường
MF-UF2515B

Liên hệ
Kính MF-UF2515B
Mitutoyo
Liên hệ

Cho phép đặt hàng trước

Catalogue

Kính hiển vi đo lường MF-UF2515B

Ý tưởng

Việc kiểm tra các cấu trúc vi mô phức tạp với kích thước ngày càng nhỏ đòi hỏi độ chính xác ngày càng cao từ kính hiển vi đo lường sử dụng trong việc kiểm định chất lượng sản phẩm. Kính hiển vi đo lường MF-UF2515B của Mitutoyo đáp ứng đầy đủ các yêu cầu khắt khe và còn giảm tình trạng mỏi mệt trong khi sử dụng thời gian dài

 

 

 

Công nghệ cốt lõi

Trong nhiều năm, Mitutoyo đã có những đóng góp đáng kể vào các công nghệ then chốt đối với công nghệ cốt lõi của ngành sản xuất: đo lường. Kinh nghiệm và kiến thức chuyên môn thu được được phản ánh trong việc thiết kế và sản xuất từng bộ phận riêng lẻ của những chiếc kính hiển vi MF-UF2515B và có thể thấy rõ ràng nhất trong sự tích hợp tuyệt vời của chúng giữa quang học, cơ học và điện tử.

 

Thiết kế gọn nhẹ

Bộ phận chính của kính hiển vi MF-UF2515B đã được thiết kế với trọng tâm là tính thân thiện với người dùng và dễ vận hành. Mitutoyo đã thực hiện thiết kế cơ học để cho phép vận hành dễ dàng. Ngay cả sau khi sử dụng lâu dài, thiết kế chống mỏi vẫn mang lại trải nghiệm làm việc thoải mái cho người vận hành

.

 

 

Độ chính xác đo cao nhất thế giới.

Hành trình trục XY lớn, chính xác cao

Mitutoyo sử dụng một loại đường dẫn tuyến tính trên trục XY lớn được đánh giá cao về độ thẳng và độ ổn định. Đây là một yếu tố quan trọng trong chiến lược tối đa hóa độ chính xác hình học – một yếu tố khác là phân tích FEM. Các nhà thiết kế của chúng tôi đã sử dụng kỹ thuật FEM một cách rộng rãi trong giai đoạn thiết kế để đảm bảo độ ổn định của giai đoạn là tối ưu trong mọi tình huống đo lường. Do đó, nền tảng để đạt được độ chính xác đo cao nhất đã được đặt ra.

Thông tin thêm về trục XY

Trục XY có một thiết kế lớn, độ ổn định cao được tạo ra bằng các kỹ thuật cơ học được phát triển qua nhiều năm kinh nghiệm của Mitutoyo trong việc sản xuất kính hiển vi đo lường chính xác. Tải trọng bàn đặt mẫu tối đa là 30kgf (66lbf) và một loạt các phụ kiện hữu ích có sẵn bao gồm giá đỡ wafer và giá đỡ trung tâm xoay.

Cân kỹ thuật số chính xác cao

Kính hiển vi MF-UF2515B được trang bị các thước kính kỹ thuật số có độ chính xác cao trên cả ba trục. Mitutoyo sản xuất thước Kính hiển vi đo lường MF-UF2515B trong một phòng thí nghiệm dưới lòng đất, nơi nhiệt độ và độ ẩm không đổi quanh năm. Sự dịch chuyển của trục XY và Z (ống quang) được hiển thị bằng kỹ thuật số.

Hệ thống quang học FS

Hệ thống quang học FS được chú trọng hơn bao giờ hết vì khả năng cho phép đo lường, quan sát và phân tích với sự kết hợp hàng đầu giữa khoảng cách làm việc dài và NA cao. Hệ thống quang học này đảm bảo khả năng hoạt động cao khi đo lỗ sâu, bước, v.v. hoặc khi cài đặt thiết lập

 

Ống quang học nghiêng

Để giảm mệt mỏi do sử dụng lâu, người vận hành phải sử dụng kính hiển vi MF-UF2515B ở tư thế không bị bó buộc. Bộ phận thị kính cho phép điều chỉnh góc nghiêng vô cấp, do đó với bất kể vóc dáng  như thế nào, người vận hành luôn có thể điều chỉnh vị trí thị kính để làm việc thoải mái trong bất kỳ nhiệm vụ đo lường nào.

Ống quang LAF

Có thể chọn ống quang LAF (Laser AF) làm tùy chọn. Hệ thống LAF đạt được mức cao
độ lặp lại khi đo bước phút, v.v., cho phép thực hiện các phép đo40

khó và giảm thiểu tối đa độ mỏi.

 

bánh răng cỡ nhỏ siêu chính xác 10X

Wafer 20X

 

Độ dốc kim loại 20X

Dấu kim loại 20X

 

Bảng điều khiển đặt ở phía trước

Các điều khiển được bố trí để người vận hành dễ dàng tiếp cận trên hai bảng điều khiển ở phía trước kính hiển vi. Điều này cho phép người vận hành tập trung vào phép đo mà không cần phải nhìn ra xa thị kính. Công nghệ màng làm cho các thiết bị chuyển mạch rất bền.

 

Thông số kỹ thuật

Mẫu số  Hyper MF-B2515B
ống quang học Hệ thống quang học hiệu chỉnh vô cực BD (Trường sáng / Tối) với chức năng LAF
Kẻ ô tiêu chuẩn (Tích hợp sẵn) Đường gạch chéo 90 ° (độ rộng đường 5μm)
Điều chỉnh khoảng cách học sinh Loại Siedentoph Phạm vi điều chỉnh: 51 đến 76mm / 2,01 ”đến 2,99”
Tỷ lệ chuyển đổi đường dẫn quang  Quan sát / TVphotomicrography = 50/50
góc nghiêng dọc  Nghiêng
Cổng TV  Được cung cấp theo tiêu chuẩn
Hình ảnh quan sát hình ảnh thẳng
Thị kính  Phóng đại  10X, 15X, 20X
Vật kính (tùy chọn) Được trang bị hai thị kính 10X
  Vật kính dòng ML
  BF (Trường sáng) Kế hoạch M Apo, M kế hoạch Apo SL, G kế hoạch Apo
  BD (Trường sáng / tối) Kế hoạch BD Apo, Kế hoạch BD Apo SL
Turret (tùy chọn) BF (Trường sáng) (Được trang bị cảm biến thủ công bốn lỗ / cảm biến năm lỗ có động cơ * 2
BD (Trường sáng / tối) (Được trang bị cảm biến thủ công bốn lỗ / cảm biến bốn lỗ có động cơ * 3
Phần lấy nét Chiều cao tối đa của phôi 150mm / 5,91 ”
Đo độ chính xác (1,5 + 0,01L) μm L: Chiều dài đo (mm)
phương pháp điều khiển Điều khiển cơ giới với việc sử dụng cần điều khiển
Bộ phận chiếu sáng Chiếu sáng truyền qua Hệ thống viễn tâm, màng chắn khẩu độ tích hợp, bóng đèn Halogen (12V, 50W), điều khiển cường độ ánh sáng 100 bước, Chiếu sáng ánh sáng lạnh bằng cáp quang
Bộ chiếu sáng phản xạ Chiếu sáng Koehler, Cơ chế màng chắn khẩu độ thay đổi, Bóng đèn Halogen (12V, 100W), Điều khiển cường độ ánh sáng 100 bước, Chiếu sáng lạnh bằng cáp quang
Khoảng làm việc Dải đo (X × Y) 250mmx150mm / 9,84 ”x5,91”
Độ chính xác đo * 4 (Khi không tải trên trục X hoặc Y) (0,9 + 0,003L) μm L: Chiều dài đo (mm)
Kích thước của mặt phẳng trên cùng 460mmx350mm / 18,11 ”x13,78”
Kích thước có thể sử dụng của kính sân khấu  300mmx200mm / 11,81 ”x7,87”
Góc xoay  ± 3 °
Khối lượng tải tối đa  30kgf / 66lbf
phương pháp lái xe  Điều khiển cơ giới với việc sử dụng cần điều khiển
Máy dò  Cân kỹ thuật số có độ chính xác cao (Đã được cấp bằng sáng chế)
màn hình kỹ thuật số độ phân giải 0,01μm / .0004μinch
Các trục được hiển thị XYZ
đơn vị xử lý dữ liệu QM-Data200 hoặc Đơn vị Tầm nhìn
Khóa phím điều khiển Có sẵn
Đường Pitch Có sẵn
Đầu ra dữ liệu Có sẵn
Reset  màn hình kỹ thuật số Có sẵn
Kiểm soát cường độ ánh sáng chiếu sáng Có sẵn
LAF (chỉ tập trung) Có sẵn
LAF (tiêu điểm theo dõi) Có sẵn
Điều khiển từ xa Turret Có sẵn (khi lắp đặt Turret có động cơ)
Kích thước bên ngoài Bộ phận chính của kính hiển vi  880mmx913mmx770mm / 34,65 ”x35,94” x30,31 ”
đơn vị năng lượng  160mmx476mmx381mm / 6,30 ”x18,74” x15 ”
Khối lượng  Bộ phận chính của kính hiển vi Khoảng 255kg / 562,2lb
đơn vị năng lượng 14kg / 30,86lb
Nguồn cấp  100 – 240V AC, 50/60 Hz Công suất tiêu thụ tối đa: 700W

Kích thước tổng quát